仪器厂家：日本日立公司（Hitachi High-Technologes）
仪器型号：US-1510
技术指标：
分辨率：
二次电子分辨率：3.0nm（高真空，30kV）
背散射电子分辨率：4.0nm(低真空：6Pa,30KV)
放大倍率：5～300,000倍
电子光学系统：电子枪：预对中钨灯丝电子枪
加速电压：0.3～30KV
样品台：2轴马达台；最大样品尺寸200mm
倾斜：-20°～90°；旋转：360°
仪器配置：电制冷能谱仪（Energy Dispersive Spectrometer）
仪器厂家：德国布鲁克AXS公司（Bruker AXS GmbH）
仪器型号：QUANTAX
技术指标：能量分辨率：≤129Ev(Mnk,100,000cps)
探测芯片有效探测面积：10mm2
元素探测范围：Be(4) ～Am(95)
二次电子检测器，高灵敏度半导体背散射电子检测器