仪器厂家:日本日立公司(Hitachi High-Technologes)
仪器型号:US-1510
技术指标:
分辨率:
二次电子分辨率:3.0nm(高真空,30kV)
背散射电子分辨率:4.0nm(低真空:6Pa,30KV)
放大倍率:5~300,000倍
电子光学系统:电子枪:预对中钨灯丝电子枪
加速电压:0.3~30KV
样品台:2轴马达台;最大样品尺寸200mm
倾斜:-20°~90°;旋转:360°
仪器配置:电制冷能谱仪(Energy Dispersive Spectrometer)
仪器厂家:德国布鲁克AXS公司(Bruker AXS GmbH)
仪器型号:QUANTAX
技术指标:能量分辨率:≤129Ev(Mnk,100,000cps)
探测芯片有效探测面积:10mm2
元素探测范围:Be(4) ~Am(95)
二次电子检测器,高灵敏度半导体背散射电子检测器